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小漏和微漏就比较难查了,大家常用的方法是利用在高真空状态下水环式真空泵电离管对某些气体反应敏感来检漏,比如丙酮或乙醇,用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇,喷到漏点时,电离计的指针会有明显摆动。一定要等到电离计的指示值稳定了也就是水环式真空泵的抽气能力和漏率平衡了,然后再喷射。建议是反复几次,确认漏点。
内漏多发生在带水冷夹套的设备上,检查外漏时无疑会发现,但存在以下现象:水环式真空泵,抽速明显偏低,真空计指示值偏低,润滑油乳化快,真空室铁基零件明显腐蚀。具备以上条件,基本可以确定内漏。这时我们得首先清洗内壁,然后通过冷却水,看看是否有湿点,湿润处就是漏点。
火焰法则可以找到较大的泄漏点。利用气流会使火焰偏离的原理,先抽真空,比如用蜡烛或打火机一步步在可疑点周围搜索,发现火焰偏离到泄漏点,就可以找到泄漏点。