干式真空泵的应用

点击次数:   更新时间:19/07/17 16:57:07     来源:www.gszkb.cn关闭分    享:

  干式真空泵又称无油干式机械真空泵,是一种环保机械。该设备能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。因此,在很多领域有广泛应用,主要有以下几个方面:
  1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
  2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
  3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  4、在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
  5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染;
  干式真空泵的应用主要是对环境有特殊要求的行业,保障产品不被其它物质污染,确保产品的纯净度以及产品质量。

                                              干式真空泵

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